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第二个难题是大面积精度控制，随着产业的发展，洁净车间的面积越来越大，地面精度控制要求也越来越高。专门的净化工程公司做法是配置专门的测量人员，设置一条十字基准线作为基准源，建立覆盖全厂房的基准线体系。在施工过程中，用激光扫平仪进行安装高度的调整，并用经纬仪进行不间断复测，从而在大面积的洁净车间内把精度控制在要求范围之内。
无尘车间是指将车间内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，无尘车间即洁净厂房，又叫洁净室，洁净室一般包括工业洁净室和生物洁净室。
生物洁净室尤其是生物安全实验室的排风一般含有活性的有毒有害的病菌等微生物。因此这类排风须经过过滤灭菌后再排放。如手术室的排风须经过中效过滤方能排到室外；P3实验室的排风须经过过滤器过滤后方能排到室外；P4实验室的排风须经过两级过滤器过滤后才能排到室外。考虑安全采用袋进袋出的过滤器装置。
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